JJF 1427-2013 微机电(MEMS)线加速度计校准规范
|
ID： |
A2ECCA7D53AD4D3C93FAFA27A4D644CA |
|
文件大小(MB)： |
1.37 |
|
页数： |
26 |
|
文件格式： |
|
|
日期： |
2024-8-13 |
|
购买： |
文本摘录（文本识别可能有误，但文件阅览显示及打印正常，pdf文件可进行文字搜索定位）：
渺,中华人民共和国国家计量技术规范,JJF 1427—2013,微机电(MEMS)线加速度计校准规范,Calibration Specification for MEMS Linear Accelerometers,2013-09-02 发布2013-12-02 实施,国家质量监督检验检疫总局发布,JJF 1427—2013,微机电(MEMS)线加速度计,校准规范,Calibration Specification for MEMS,Linear Accelerometers,JJF 1427—2013,归口单位:全国惯性技术计量技术委员会,起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所,中航工业北京长城计量测试技术研究所,本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释,JJF 1427—2013,本规范主要起草人:,杨拥军（中国电子科技集团公司第十三研究所）,董雪明（中航工业北京长城计量测试技术研究所）,徐淑静（中国电子科技集团公司第十三研究所）,参加起草人:,何懿オ（中航工业北京长城计量测试技术研究所）,吝海锋（中国电子科技集团公司第十三研究所）,田阳（中航工业北京长城计量测试技术研究所）,JJF 1427—2013,目 录,引言.. (U),范围.. (1),2引用文件. (1),3术语及定义.. (1),4概述.. (1),5计量特性. (2),6校准条件.(3),6.1 校准环境条件.(3),6.2 测量标准及设备.. (3),7校准项目和校准方法 (4),7.1 校准项目.. (4),7.2 校准方法..(5),8校准结果表达(14),9复校时间间隔(14),附录A MEMS线加速度计重力场校准不确定度评估示例(15),附录B校准证书内页格式.. (21),I,JJF 1427—2013,引 言,微机电(MEMS)线加速度计广泛应用于国民经济各领域,基于此考虑,结合微机,电(MEMS)线加速度计校准的实际情况,参照国际电エ委员会 皿(INTERNATIONAL,ELECTROTECHNICAL COMMISSION )编写的 60747-14-4 Ed. 1/CDV IEC 半导体,加速度计(SEMICONDUCTOR DEVICES—Part 14-4： Semiconductor accelerometers),编写本规范,n,JJF 1427—2013,微机电（MEMS）线加速度计校准规范,范围,本规范规定了微机电（MEMS）线加速度计（以下简称MEMS线加速度计或加速,度计）的校准项目和校准方法,适用于单敏感轴MEMS线加速度计,2引用文件,本规范引用了下列文件:,JJF 1116-2004线加速度计的精密离心机校准规范,GJB 1037A-2004单轴摆式伺服线加速度计试验方法,GB/T 20485. 21—2007振动与冲击传感器校准方法 第21部分:振动比较法,校准,IEC 60747 Part 14-4 半导体加速度计（14-4： Semiconductor accelerometers）,凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文,件,其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范,3术语及定义,3.1 微机电 Micro Electro Mechanical System . MEMS,运用半导体工艺集成了传感器、执行器和/或电路的系统.,3. 2 MEMS 线加速度计 MEMS linear accelerometers,采用MEMS加工エ艺制作的用于将输入的线加速度成比例的转化为输出（通常为,电学量）的传感器,3. 3敏感质量proof mass,线加速度计中把沿着或绕输入轴的加速度转换为カ矩（或力）的有效质量,4概述,MEMS线加速度计一般由敏感质量、挠性支承和转换线路等构成;工作原理为敏,感质量在外界加速度产生的惯性力作用下产生一定位移,该位移与输入加速度相关,其,物理模型可由公式（1）进行简化:,M 斃+ D 学+ Kz+C = -Mi （1）,式中:,M----- 敏感质量，kg；,D——周围气体提供的阻尼,N ?s/m；,K——弹簧刚度,N/m；,1,JJF 1427—2013,%----敏感质量质心的相对位移,m；,a----输入加速度,m/s2},C—常值,Ne,将公式（1）进行Laplace变换可以得到MEMS线加速度计的传递函数见,公式（2）：,ロ（。= 2 しワ/~⑵,式中:,s------ Laplace变换的复变量;,固有频率,Hz,阻尼比,5计量特性,MEMS线加速度计的计量特性包括静态特性和动态特性,校准参数见表2,其中1.16,项为静态特性,第17项为动态特性,MEMS线加速度计的静态特性模型可由公式（3）进行简化:,=B 4-a, -j-K2a? 4- K3a^ -- 7tP-p — （3）,式中:,E——加速度计输出,加速度计输出单位;,B—偏值,g （g为重力加速度,臥=9. 806 65 m/s2）；,K—标度因数,输出单位/g;,为一沿加速度计输入基准轴IRA的加速度,g；,4—沿加速度计摆基准轴PRA的加速度，g；,ムー沿加速度计输出基准轴ORA的加速度,g；,K2—二阶非线性系数,g/g2i,K3—三阶非线性系数,g/g3；,ァ。一输入轴!A相对于输入基准轴IRA绕输出基准轴〇RA的安装误差，rad；,ルー输入轴!A相对于输入基准轴IRA绕摆基准轴PRA的安装误差,rad；,MEMS线加速度计的动态数学模型由公式（4）和公式（5）进行描述,公式（4）,为MEMS线加速度计的幅频……
……